標(biāo)題：電子顯微鏡研究結(jié)構(gòu)和離子打磨成分的變化
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2017-7-9 2:37:49
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正文:
電子顯微鏡研究結(jié)構(gòu)和離子打磨成分的變化
離子打磨
離子打磨技術(shù)是使用惰性氣體(如氬氣)離子束，以傾斜角度轟
擊樣品使樣品表面原子被剝離、，離子束減薄和減薄過程中的半定
量處理的原理在許多書中都有介紹。一般來講，離子轟擊是一種非
常普遍的過程，有幾種使用方法。當(dāng)使用低能量l～5keV的離子束
傾斜射入樣品時(shí)，剝蝕或?yàn)R射速率很慢。這種原子水平上的層層剝
蝕廣泛應(yīng)用于表面清潔和去除污染物。用更高的電壓、中等強(qiáng)度的
離子束可用于對透射電鏡樣品在合適的速率下減薄。、
基本的結(jié)構(gòu)是要有一個(gè)與離子槍連接的擴(kuò)散泵腔室。離子槍中
充滿高純度的惰性氣體，如氬氣。氣體在兩個(gè)具有高電勢差的電極
間被加速并被電離。將聚焦和校準(zhǔn)的氣體離子束對準(zhǔn)樣品表面�，F(xiàn)
代電子學(xué)可以以幾種方式精確操縱離子束。多數(shù)離子減薄儀是單光
束系統(tǒng)，可對樣品的一個(gè)面進(jìn)行減薄。另外也有商品化的雙面離子
減薄儀，其中可產(chǎn)生在樣品的兩個(gè)面聚焦的兩個(gè)離子束，使兩個(gè)面
從上至下同時(shí)減薄。離子打磨的主要優(yōu)點(diǎn)是其廣泛適廂于任何固體
材料。需要了解和監(jiān)測的主要人工缺陷是離子束產(chǎn)生的損傷。在近
表面區(qū)域離子束會引起許多變化。有些變化只涉及淺表面的結(jié)合和
組成的變化，而這些在透射電子顯微鏡檢測中并不是很重要。其他
“更深”的能影響透射電子顯微鏡研究的是結(jié)構(gòu)和成分的變化。采
用透射電子顯微鏡觀測時(shí)，離子打磨形成的碳纖維上的波紋圖案。
導(dǎo)致這種變化的確切機(jī)制還不是很清楚，但通常認(rèn)為是離子束導(dǎo)致
的不平整
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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