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正文:
材料的長度、質(zhì)量、鍍膜量和成本分析
顯微鏡
非球面的可制造性
非球面有很多優(yōu)點。一個非球面的作用相當于若干球面,可以節(jié)省
所用材料的長度、質(zhì)量、鍍膜量和成本。隨著新的加工及測試技術(shù)的發(fā)
展,非球面的制造成本從曾經(jīng)是球面制造成本的10~20倍.縮減到僅為
球面制造成本的2~4倍。如果采用模塊化開發(fā),其成本會更低,關(guān)鍵因
素也會隨技術(shù)的發(fā)展而改變。
凸非球面的測試很難用常規(guī)干涉儀來完成,它需要一個比非球面更
大的參考球面。. 可先對凹凸非球面進行。再將子孔徑的
測量結(jié)果
合成為一個高分辨率的全口徑圖像.其拼接誤差可通過改進測試設(shè)備來
降低。但有些儀器,如MRF不能拋光半徑較短的凹球面(主要由于研磨凹
型光學元件需要凸型磨具)。
在所有常規(guī)區(qū)域或者被拼接的干涉圖中,曲率的局部變化必須保持
低于 .這一限制取決于供應(yīng)商的測試儀器。一個最近引進的稀疏陣
列即亞奈奎斯特干涉儀解決了這個問題。
拼接干涉測量不能很好地檢測彎曲表面(如施密特板)。接觸式
對彎曲不敏感,因為其測量過程是線掃描的。
子孔徑
拋光機會產(chǎn)生某種程度的 和紋波,在設(shè)計中必須仔細考
慮這種影響。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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