標題：被測物體表面的高度分布表面的三維形貌
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2018-7-13 23:18:42
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正文:
被測物體表面的高度分布表面的三維形貌
通過線陣CCD相機采集玻璃表面云紋圖像，利用差影法和數字相移技術
對云紋圖像進行處理，可實現全部缺陷的檢測，玻璃缺陷檢測精度為0．5 m
m。
光柵投影法的研究概述
光柵投影的三維形貌測量方法
當前，光柵投影法主要用于三維形貌的測量，其測量原理為：將光柵分
別投影到參考平面和被測物體表面，投影到參考平面上的參考光柵不會發(fā)生
變形；當光柵被投射到待測物體表面時，由于投影光柵受被測物體表面高度
的調制，光柵會產生不同程度的變形，待測物體的高度不同，光柵的變形程
度不同。因此，二維平面上的變形云紋攜帶有待測物體表面的j維形貌信息
，采用CCD相機采集變形云紋，并對采集得到的云紋圖像進行處理，可以求
得物體表面的相位分布，并可根據幾何關系計算出被測物體表面的高度分布
，重構出物體表面的三維形貌。
基于光柵投影的i維測量系統(tǒng)一般由投影光柵、CCD攝像機、圖像采集卡
、計算機等構成。典型的測量系統(tǒng)根據成像設備和投影設備的空問位置的不
同，可分為交叉光軸和平行光軸兩種。平行光軸結構可以減小參考平面上的
投影光柵的變形，但測量范嗣受限于投影光場和成像光場的重疊部分，并且
難于調整，測量范圍有限，較少使用；交叉光軸結構可以獲得較大的有效測
量場，但由于光柵偏置，參考面上的云紋分布不均勻，相位呈非線性分布
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科