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正文:
電介質(zhì)也自然成為印刷晶體管樣品分析
顯微鏡
可印刷電介質(zhì)在印刷晶體管中,電介質(zhì)一般被用作柵介質(zhì)。電介質(zhì)能
較好地耦合柵電極和溝道材料,因而保證了印刷晶體管良好的靜電感應(yīng)作
用。為此通常需要采用園 盡可能薄的電介質(zhì),以確保柵和溝道最大的耦
合作用。此外,電介質(zhì)與溝道間必須具有較好的界面,并且能夠整合進(jìn)印
刷設(shè)備的結(jié)構(gòu)中,且盡可能減小其上/下層的劣化。
聚合物電介質(zhì)由于聚合物能用于構(gòu)成可印刷半導(dǎo)體,因而也能用于構(gòu)
成電介質(zhì)。在傳統(tǒng)的微電子領(lǐng)域,聚合物電介質(zhì)也被廣泛應(yīng)用。在印刷電
子品的應(yīng)用中,聚合物
電介質(zhì)也自然成為印刷晶體管的一種選擇。在印刷晶體管中,多種種
類(lèi)的聚合物電介質(zhì)都被廣泛地研究。其中包括聚酰亞胺以及聚四乙基苯酚(
PVP)的聚合物電介質(zhì)。通常,這些電介質(zhì)主要有以下特性:
溶液加工性——出于成本考慮,迫切需要發(fā)展一些有可印刷的電介質(zhì)
。因此,正如上述對(duì)于半導(dǎo)體的討論,我們也迫切需要發(fā)展一些可溶液加
工的電介質(zhì)材料。尤其是電介質(zhì)的應(yīng)用,溶液加工技術(shù)必須非常完善,避
免產(chǎn)生任何針孔、裂縫等,這一點(diǎn)十分重要,因?yàn)檫@些缺陷可能會(huì)引發(fā)短
路。
熱量兼容性——為了提升電子硬件的強(qiáng)度,大多被普遍研究的電介質(zhì)
材料,包括上文提到的聚酰亞胺和聚四乙基苯酚等在印刷后需要進(jìn)行煅燒
。而煅燒的目的各不相同。在有些材料中,煅燒是用于蒸發(fā)殘余溶劑。對(duì)
于其他材料(像上文提到的聚酰亞胺和聚四乙基苯酚),煅燒可用于進(jìn)行
化學(xué)轉(zhuǎn)化,例如發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。在任何情況下,在所有的印刷層進(jìn)行熱處
理時(shí),熱處理過(guò)程必須與襯底相互兼容。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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