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測定微觀幾何形狀特性的方法和儀器
為測定微觀幾何形狀的標(biāo)準(zhǔn)特性,巳創(chuàng)制不少儀器和方法.所采
用的方法幾乎都是按照輪廓來評定表面幾何形狀的。這種測量表面構(gòu)
形的方法最費(fèi)時(shí)或是獲得的精度不高,·它主要是在用比較法評定表
面時(shí)采用。上面曾經(jīng)指出,輪廓包含有整個(gè)表面的數(shù)據(jù),并能測定某
些構(gòu)形參數(shù),而同時(shí)繪制的一些輪廓圖可以評定表面的
立體圖。
用感觸法測量表面輪廓的缺點(diǎn)是,當(dāng)測針醫(yī)在被測表面上時(shí)會產(chǎn)
生變形,這是因?yàn)樵诮佑|區(qū)內(nèi)產(chǎn)生較大;壓力的緣故。此外,測針的
端頭具有2—1叫m半徑的圓弧,所以當(dāng)它沿輪廓峰滑動(dòng)時(shí),便產(chǎn)生輪廓
失真.
在光學(xué)測量方法中,廣泛采用的是光切法;投影法和干涉法。光
切法就是通過狹縫而形成的光帶P245,角照射在被測表面上,因?yàn)楸?/div>
面具有不平度,所以投影可呈現(xiàn)出輪廓的形狀)。該輪廓可以用帶讀數(shù)
裝置的顯微鏡檢測.整個(gè)測量系統(tǒng)稱為雙管顯微鏡,雙管顯微鏡可以
檢測
粗糙度參數(shù)R。.切光法可以觀察較大不平度的形狀和尺寸,但其
分辨能力低
采用投影法時(shí),用一只鋒利的刀片以60二傾角壓緊在被測表面上
,光源從刀片的一邊照射時(shí)使其影象投在表面上,該影象即顯示出輪
麻的不平度。輪囀用帶有讀數(shù)裝置的顯微鏡進(jìn)行檢測
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北京顯微鏡百科
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