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作者:yiyi發(fā)布
時間:2011-11-24 18:08:45
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正文:
最全的金相實驗室儀器功能簡介
光學(xué)顯微鏡
放大倍率:
上調(diào)輪可調(diào)整倍率為1x~7x,而TV TUBE 所提供的倍率為1x,可置換為另一2x的TV TUBE;顯微鏡上端的CCD本身則會提供放大43x的倍率,因此,本光學(xué)顯微鏡可放大。
0.75 x 1 x 1 x 43 = 32x (最小)
0.75 x 7 x 2 x 43 = 450x (最大)
低倍顯微鏡
適合觀看較大尺寸的試片,觀看時,直接將試片放置在平臺上。
放大倍率:顯微鏡之可調(diào)整倍率為3到18倍。
可以50~1000倍率來觀察電子構(gòu)裝元件的細小幾何和佈線結(jié)構(gòu)。
拋光研磨機
經(jīng)由鑽石切割機切開的電子構(gòu)裝元件截面需經(jīng)由拋光研磨機將截面磨成平整的切口, 再經(jīng)由包埋等過程製成試件, 以利使用電子顯微放大系統(tǒng)量測。
微量天平
微量電子天平可以測得微小元件的重量, 其精確度到達0.0001g。
微推拉力機
利用推刀將錫球做剪力破壞, 以推刀的位移和作用力關(guān)係圖判斷破壞模式
云紋干涉儀
利用雷射光的干涉條紋得知測試元件的表面變化, 其解析度約0.5um左右
高速攝影機
利用高速攝影探知水滴液體等形成的外型
桌上型超音波清洗機
利用超音波震動方式,將試片上的污染異物清潔之。
鑽石切割機
鑽石切割機可調(diào)整轉(zhuǎn)速與進給率, 能切開電子元件以觀察截面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
Twyman-Green Interferometry
此干涉儀適用于量測Z場方向的微小變形,并可擷取干涉條紋的影像,進而求得其應(yīng)變其應(yīng)變梯度等等。
標(biāo)準(zhǔn)恆溫恆濕試驗機
每一批晶片經(jīng)過封裝製程后,封裝工廠都會為這批晶片做耐濕耐熱測試,這部試驗機則提供濕熱環(huán)境,提供實驗室的封裝試片,做測試之用,目前亦由博士班張國欽學(xué)長維護管理。
泛用型實驗用烘箱
主要是為了模擬電子封裝製程中,不可避免的加熱(SOLDER REFLOW)過程,或者提供試片加熱環(huán)境用,目前由博士班張國欽學(xué)長維護管理。
三次元量測儀
三次元量測儀可以得到試片 x, y, z, 三軸的幾何尺寸大小, 目前用于測量球高
Reflow Station
此機座的用途在于錫球的回焊以及拆焊
掉落實驗試驗機
掉落實驗測試機主要由掉落平臺(Drop table)、撞擊平面(Rigid base)、舉升系統(tǒng)(Lifting system)幾部分構(gòu)成,測試板則固定再掉落平臺上由一定高度沿滑桿自由落下。
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