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正文:
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光學(xué)自準(zhǔn)直儀簡(jiǎn)介_(kāi)自準(zhǔn)直儀器產(chǎn)品列表
光學(xué)自準(zhǔn)直儀所量測(cè)的值可以是角度,需要量測(cè)直線(xiàn)度或平面度的話(huà),需要將角度值乘上
每次反射鏡的移動(dòng)位移量,求出各點(diǎn)的高度差之后,再用最小平方法將各點(diǎn)在基準(zhǔn)線(xiàn)的高
度值求出來(lái)。最后亦可用類(lèi)似方式記計(jì)算出待測(cè)物之平面度。
角度量測(cè):
角度量測(cè)可以不像長(zhǎng)度量測(cè)一樣需要一個(gè)量測(cè)基準(zhǔn),我們可以將一個(gè)直接定義為 360 度或
2π 弳度,再將這個(gè)圓分割成所需要的等分,例如將一度續(xù)分為 60 分,一分續(xù)分為60秒。
實(shí)際上的角度量測(cè)仍然必須利用長(zhǎng)度比例來(lái)?yè)Q算,例如:
1.一個(gè) θ 角所對(duì)的弧長(zhǎng)為 r θ, r 為此圓之半徑,當(dāng) θ很小時(shí),此對(duì)應(yīng)之圓弧即趨近
于直線(xiàn),角為弳度表示方式。
2.利用三角幾何原理來(lái)求角度,例如正弦桿即是,一般正弦桿長(zhǎng)度為100mm ,
且經(jīng)過(guò)精密校正,則由以上可知,長(zhǎng)度量測(cè)的精度,直接影響角度量測(cè)的精度。
人的眼睛一般角度分辨的極限能力是一分,如果在明視距離下,換算成長(zhǎng)度
單位大約為:
塊規(guī)的量測(cè)精度:1 μm
假設(shè)正弦桿非常精密,本身長(zhǎng)度誤差不考慮。
此為正弦桿量測(cè)精度的極限,實(shí)際上的
測(cè)量誤差必然比值還高。
常見(jiàn)的比正弦桿測(cè)量更精密的角度
測(cè)量?jī)x,首推自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)儀。
光電式自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)儀精度可達(dá) 0.1 sec 但其測(cè)量范圍不大,必須配合其他角
度量測(cè)儀具一起進(jìn)行角度量測(cè)。
光學(xué)上大都利用幾何光學(xué)的方式進(jìn)行輪廓測(cè)定其解析度限制大都為光學(xué)系
統(tǒng)本身之誤差一個(gè)物體經(jīng)過(guò)透鏡成像后,可得到放大或縮小的影像但此影像
與原來(lái)的物體相比較。
光學(xué)自準(zhǔn)直儀用于平臺(tái)平面度之量測(cè)與校正:
首先量出平臺(tái)上各點(diǎn)與基準(zhǔn)點(diǎn)之間之高度差。
取點(diǎn)方式有二:
1.對(duì)角法
2.網(wǎng)目法
兩個(gè)理想平行平面之傾斜角如果調(diào)整適當(dāng),則兩平行距離減少時(shí)仍然能
夠?qū)⒋郎y(cè)面完全包夾住,因此適當(dāng)?shù)男D(zhuǎn)兩平行面,最后可以得到待測(cè)
平板之平面度之值。
調(diào)整水平的方法:
反覆調(diào)整、利用探針或水準(zhǔn)氣泡來(lái)告知那一邊較高,旋轉(zhuǎn) 180 度,再
調(diào)另一邊,直到兩邊之高度相等為止再調(diào)第三點(diǎn)使整個(gè)面高度都相等。
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