標(biāo)題：金相顯微鏡量測(cè)方式不受限于元件透光性-儀器常識(shí)
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-1-10 1:15:34
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正文:
金相顯微鏡量測(cè)方式不受限于元件透光性
微V形微結(jié)構(gòu)常應(yīng)用于光學(xué)元件如液晶平面顯示器的導(dǎo)光板，隨著精微制造技術(shù)的應(yīng)用，V形微結(jié)構(gòu)的尺寸降至微米。
如何簡(jiǎn)易的檢測(cè)模具與成形微結(jié)構(gòu)的尺寸，包括特征高度、寬度與角度等，而不受限于結(jié)構(gòu)材料與透光性，
便成為一項(xiàng)重要的課題。本研究探討接觸式表面輪廓儀用于下凹微V形結(jié)構(gòu)量測(cè)的限制與對(duì)策，
首先提出以矽基非等向濕蝕刻，制作探針半徑的校正治具，再推導(dǎo)掃瞄輪廓與實(shí)際V結(jié)構(gòu)特征參數(shù)的轉(zhuǎn)換公式。
表面輪廓儀為例，探針頂角45°，半徑2 μm，可應(yīng)用于底寬4 μm以上的V形微結(jié)構(gòu)量測(cè)。
寬10 μm、頂角約54°的V形長(zhǎng)溝模仁，與PMMA導(dǎo)光板特征成形轉(zhuǎn)寫(xiě)率量測(cè)，并與掃瞄式電子顯微鏡與激光共軛焦顯微鏡的結(jié)果比較，
所提出的量測(cè)方式不受限于元件透光性，且不需破壞試片，量測(cè)高度誤差在4%以下，具有快速與低成本的優(yōu)勢(shì)
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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北京地區(qū)金相顯微鏡專(zhuān)業(yè)的供應(yīng)商
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