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標(biāo)題：微光學(xué)元件的生產(chǎn)制作-光罩投影精密光學(xué)顯微鏡廠家

信息分類:站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2013-2-7 2:41:36 將本頁加入收藏

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正文:

微光學(xué)元件的制作-精密光學(xué)顯微鏡廠家

我們所使用準(zhǔn)分子激光的加工方式為光罩投影（Projection）

的方式，實(shí)驗(yàn)中采用工件材質(zhì)為PC聚碳酸酯（Polycarbonate），其

折射率為1.586。并以工件相對(duì)于激光光束運(yùn)動(dòng)進(jìn)行加工，因?yàn)榧庸?/div>

形狀與加工深度是由單位區(qū)域受到激光光照射能量與照射次數(shù)所決

定。因此激光光束照射能量的大小與工件相對(duì)于激光光束運(yùn)動(dòng)快慢

可控制加工深度，當(dāng)工件相對(duì)于激光光束運(yùn)動(dòng)較快時(shí)，其加工深度

就比較淺。所以將改變光罩圖形，激光光束照射能量的大小

（可由激光光能量與衰減器角度控制），激光光束脈衝頻率（Hz），

與工件移動(dòng)速度等參數(shù)以穫得各種微光學(xué)元件。此外利用光罩圖樣的設(shè)計(jì)，

配合工件與光罩平臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也可以獲得特殊的微結(jié)構(gòu)。

而產(chǎn)生此種結(jié)果的原因?yàn)閷訝罴庸ぃ╨ayer machining）的特點(diǎn)，加工深度會(huì)在原工件的形狀下產(chǎn)生相對(duì)的加工深度。

所以加工深度和光罩透光部份區(qū)域呈正比，并且加工截面形狀是光罩透光部份區(qū)域形狀

比例變形，如三角形的光罩可以加工出截面為三角形的溝槽，而半

圓形的光罩可以加工出截面為半圓形的溝槽，各種形狀的光罩可以加工出截面為其形狀的溝槽。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/3930.html 　
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