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正文:

聚焦點(diǎn)的直徑大于其繞射極限，所以這是我們以后要再改進(jìn)的地方，而激光準(zhǔn)直光源通過微透鏡陣列之后呈現(xiàn)高斯分佈，

其中光能量落在光敏區(qū)的范圍之內(nèi)為有效，分佈在光敏區(qū)以外的光能量則是損耗，經(jīng)過光學(xué)測量系統(tǒng)量測得到光強(qiáng)度分佈，微透鏡陣列光強(qiáng)度分佈圖為打在以半圓形光罩所交叉拖拉加工之微透鏡，為透鏡孔徑為 50μm、曲率半徑為 25μm 之微透鏡陣列所形成的聚焦點(diǎn)圖，為其所形成的聚焦點(diǎn)能量分佈等高線圖。同理經(jīng)計(jì)算，聚焦點(diǎn)的直徑小于 10μm，而其繞射極限為：Wmain ≅ 2（λ×R）/H = （2×0.6328µm×25µm）/50µm = 0.633µm

同樣，聚焦點(diǎn)的直徑大于其繞射極限蠻多的，也比圓弧形光罩所加工之微透鏡大的多，原因所在應(yīng)該在是其加工并非為圓對稱之加工。所以以圓弧形之光罩所加工之微透鏡會比半圓形光罩加工要較接近球狀面些，所以這是我們以后要再改進(jìn)的地方。