標(biāo)題：光學(xué)顯微鏡用來做微透鏡加工表面細微結(jié)構(gòu)的觀察
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-2-17 16:43:49
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正文:
光學(xué)顯微鏡用來做微透鏡加工表面細微結(jié)構(gòu)
加工深度檢測
光學(xué)顯微儀之量測
光學(xué)顯微鏡用來做微透鏡加工表面細微結(jié)構(gòu)的觀察，放大倍率
可以到達數(shù)百倍至數(shù)千倍，所量到的圖形等同于透鏡的俯視圖，對
于透鏡表面的粗糙度以及整體結(jié)構(gòu)一目了然，并且可對制程作最初
步的檢驗，如下列所示各圖皆為各元件之顯微鏡放大圖。
（二）薄膜測厚儀（α-stepper ）
薄膜測厚儀是利用細小的探針與待測面接觸，利用驅(qū)動器使探
針滑過表面將其上之高高低低的位移，透過線性位移轉(zhuǎn)換器變成電
訊送至電腦以計算各種數(shù)值，故可用來做微光學(xué)元件之加工深度的
測量，所量到的圖形等同于元件之剖面圖，并而瞭解到加工參數(shù)與
蝕刻深度的關(guān)系，而且對于工件的壁垂直度以及深寬比的關(guān)系獲得
確切的掌握。唯一美中不足的是，薄膜測厚儀是以探針和微光學(xué)元
件表面互相接觸，難免會有刮傷。而探針的針尖直徑約為 1~2μm，
如果待測物的線寬太細，則會造成失真。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/3958.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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