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正文:
電子顯微鏡分析技術(shù)
充滿螞蟻的試片與封裝晶片,為本次實(shí)驗(yàn)之二種試片。試片需能導(dǎo)電
置入試片后 闔上機(jī)臺(tái) 按綠色按鈕開(kāi)始抽真空
當(dāng)抽真空到讀條轉(zhuǎn)變至藍(lán)色會(huì)出現(xiàn)一個(gè) hv(高壓)按鈕,給它很高的電壓輸入至
儀器圓柱,圓柱里面有個(gè)鎢燈絲,當(dāng)燈絲接受到大電壓時(shí)會(huì)激發(fā)出電子束使它往
下面打,經(jīng)過(guò)許多透鏡,經(jīng)過(guò)孔徑調(diào)整桿可改變電子束粗細(xì)
先調(diào)整上下左右找出一只螞蟻,找一個(gè)部位,再放大倍率,調(diào)整倍率明暗對(duì)比
當(dāng)倍率很大時(shí)須使用右圖左上旋鈕微調(diào),而右上按鈕為調(diào)整相差,能把變形的電
子束調(diào)回圓形
調(diào)整好后使用慢速掃描或快速掃描,掃瞄速度越慢會(huì)越清楚,當(dāng)掃描差不多的時(shí)
候需按暫停,使他掃描最后一次,后拍照
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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