標題：攜式數(shù)碼表面輪廓量測工具顯微鏡-微細元件精密測量
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-3-13 15:08:43
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正文:
微量測探頭之可攜式數(shù)碼三維顯微量測系統(tǒng)，它除可進行一般三維表面輪廓達
0.1 微米(100nm)垂直解析度之微細元件精密檢測，
亦可進行量測大型樣本(或具狹窄空間)微細部位之精密表面輪廓量
測。以應用 DMD 投射出結構光條紋，
經(jīng)準直鏡組、影像縮放鏡組、聚焦物鏡、
同調(diào)影像光纖束(coherent image fiberbundles)及影像放大鏡組等光學系統(tǒng)設計與整合，
將結構光條紋以俯視角度投射到待測元件之表面輪廓上，再藉由高解
析之 CCD 相機將影像擷取至電腦中，進行影像之前處理(Image conditioning and
processing)，三維數(shù)據(jù)運算處理(彩色多波長相位移法)及三維影像疊合與重建
等重要過程，以獲得精密之三維量測數(shù)據(jù)與實體輪廓之三角網(wǎng)格(STL)等資料。
可攜式三維顯微量測系統(tǒng)之量測原理，以多波長相位移法而言乃依投影到
待測微細元件表面之結構光，
因光程差所形成之變形相位分佈來計算獲得，藉DMD 投射之精確條紋，量測系統(tǒng)可依需
求任意產(chǎn)生不同組合週期(或型態(tài))與顏色之結構光圖譜，配合多週期之相位移
量測原理，使傳統(tǒng)面結構光相位移三維量測所遭遇之量測不準確問題，獲得有
效解決。
本研究創(chuàng)新在于微量測探頭為可攜式，并成功以微數(shù)碼鏡式顯示器(DMD)
作為量測系統(tǒng)之核心關鍵。本專題擬發(fā)展之三維量測系統(tǒng)，首先著重于可攜式
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4043.html
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