標(biāo)題：制備大小2 cm × 2 cm且表面拋光完畢金相試片
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-3-30 15:18:24
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正文:
制備大小2 cm × 2 cm且表面拋光完畢金相試片
溫度 400-480℃時(shí)介金屬中主要擴(kuò)散元素
在第一部分實(shí)驗(yàn)主要是固態(tài)鎂和固態(tài)鎳在 400-480℃進(jìn)行界面反應(yīng)，為
了進(jìn)一步瞭解在界面介金屬中主要擴(kuò)散元素的判斷，我們?cè)?Mg-Ni 固態(tài)擴(kuò)
散偶的界面處標(biāo)定 markers，再進(jìn)行熱處理后，藉由 markers 存在于介金屬
中的位置來(lái)判斷介金屬中的主要擴(kuò)散元素，實(shí)驗(yàn)步驟如下：
(1)同第一部分實(shí)驗(yàn)的步驟制備大小 2 cm × 2 cm 且表面拋光完畢的 Ni 片
(99.5%)，為了在 Ni 片上標(biāo)定 markers，我們?cè)趪?guó)家奈米元件實(shí)驗(yàn)室(NDL)
訂做光罩，上面有 2μm，5μm，10μm 和 15μm 寬的直線條圖案各 100 條。
之后在 Ni 片上涂佈約 5μm 厚的光阻，經(jīng)過(guò)曝光顯影的制程后，再利用
直流式真空濺鍍系統(tǒng)(DC sputter System)鍍上鎢(W)當(dāng)作 markers。利用超
音波震盪器將多馀的鎢震落后，再用丙酮將光阻洗淨(jìng)，隨后將標(biāo)定
markers 的 Ni 片裁切成 10mm × 6mm。
(2)同第一部分實(shí)驗(yàn)的步驟制備大小 10mm × 6mm 且表面拋光完畢的 Mg 片
(99.95%)，并采用第一部份實(shí)驗(yàn)的方式，將標(biāo)定過(guò)的 Ni 片和 Mg 片置入
夾具中做成 Mg-Ni 固態(tài)擴(kuò)散偶。
(3)將 Mg-Ni 固態(tài)擴(kuò)散偶置入通有氬氣的氣氛爐中進(jìn)行熱處理，熱處理溫度
為 400℃和 480℃，時(shí)間為 10、20、30 和 45 小時(shí)。
(4)反應(yīng)完成的試片將如同前一部份實(shí)驗(yàn)進(jìn)行鑲埋、研磨、拋光及金相觀察
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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