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正文:
較于激光干涉儀直接測(cè)量各種幾何誤差量,由Charles Wang提出 之激光向量測(cè)量(laser vector measurement)
屬于一種間接測(cè)量機(jī)臺(tái)幾何誤差的方法。此方法使用激光干涉儀進(jìn)行分段對(duì)角線測(cè)量
(step diagonal measurement),亦即針對(duì)機(jī)臺(tái)工作空間內(nèi)的四條體對(duì)角線,
測(cè)量機(jī)臺(tái)移動(dòng)過程中之定位誤差。比起激光干涉儀,激光向量法只需要進(jìn)行四次分段對(duì)角線測(cè)量,
即可計(jì)算定位誤差、真直度誤差與垂直度誤差,因此大幅縮減測(cè)量機(jī)臺(tái)誤差前系統(tǒng)架
設(shè)所花費(fèi)的時(shí)間。雖然激光向量測(cè)量法的理論推導(dǎo)中不考慮角度誤差,但比起其他九個(gè)幾何誤差量,
角度誤差相對(duì)而言很小,一般忽略角度誤差并不會(huì)對(duì)誤差補(bǔ)償造成太大的影響,
所以激光向量法不失為校正機(jī)臺(tái)幾何誤差的好方法
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