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正文:
半導(dǎo)體制程人員(Semiconductor processors)就是自不同尺寸的磁盤(pán)上制造半導(dǎo)體的生產(chǎn)勞工。
磁盤(pán)的直徑通常是8吋到12吋,而這些被稱(chēng)為晶圓
(wafers)的磁盤(pán)是薄薄的硅片,其上鋪設(shè)著一層一
層的芯片電路。每一片晶圓到最后會(huì)被切割成12顆或者是20顆的單獨(dú)芯片(chips)。
半導(dǎo)體制程人員(Semiconductor processors)使用照相平板印刷法(photo lithography)來(lái)制造晶圓,
這個(gè)方法就是從攝影的影相來(lái)產(chǎn)生圖樣的一種印刷過(guò)程。
操作自動(dòng)化的設(shè)備,以把顯微的電路圖樣精確地印刷在晶圓上;利用酸類(lèi)蝕刻出電路圖樣,
接著用導(dǎo)電的
金屬取代蝕刻出的電路,然后,將這些晶
圓用化學(xué)藥品洗滌一次以變得光滑,接著從新開(kāi)始另一個(gè)印刷程序?qū)⑾乱粋(gè)電路圖樣印刷在新的一層上
面。晶圓一般會(huì)如前述的顯微層──
立體電路
突破解像力的限制,成為當(dāng)時(shí)極欲克服的問(wèn)題。 1943年,穆勒發(fā)現(xiàn)了“場(chǎng)離附”(field desorption)的現(xiàn)象,
即表面若存在相當(dāng)高的正電場(chǎng)時(shí),則表面電場(chǎng)力克服了表面附著原子(surface adsorbed atom)的束縛力,
附著原子即可脫離表面而以離子形式曳出。此現(xiàn)象立即指引出一條最佳途徑,
即采用離子取代電子作為場(chǎng)顯微術(shù)之投射粒子。因離子質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子質(zhì)量,故曳出離子的切線速度分量將很小,
又此微小速度分量主要來(lái)自熱能的效應(yīng),若再降低表面溫度,即可大大地減少此種速度分量,
而滿足提高解像力之必要條件
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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