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正文:
高分辨率CCD應(yīng)用于太陽能芯片檢測-
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太陽能芯片電極涂布誤差來源分析
太陽能電池制程中電極涂布由原有的單次涂布改良為兩次涂布,其主
要目的是為了使電極線寬變細(xì)但整體截面積必須保持和單次涂布時相同
甚至更多,如此可有效的增加太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。但由于電極進(jìn)
行兩次涂布間某些因素造成兩次電極輪廓發(fā)生錯位,因此可能降低電池本
身的光電轉(zhuǎn)換效率,
芯片邊界與電極涂布區(qū)域?qū)ξ徽`差
單次電極涂布誤差來源
太陽能芯片原有的單次電極涂布制程因為印刷電極寬度較寬,印刷范
圍可較大,所以容許有較大的誤差產(chǎn)生。傳統(tǒng)一次涂布電極邊界相對于晶
片邊界之誤差量較大,但不影響芯片本身的光電轉(zhuǎn)換效率。而涂布時造成
電極位置有偏差的原因有:芯片與電極本身各有對位誤差的情形發(fā)生、對
位 CCD 分辨率所造成的誤差、涂布機臺于數(shù)次網(wǎng)印后累積的誤差、網(wǎng)版
及膠料品質(zhì)所造成的網(wǎng)印誤差等等因素
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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