點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報價--丨--

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正文:
隨微奈米科技的興起,許許多多微加工操作系統(tǒng)及微量測儀器其微加工技術(shù)
及微檢測裝置均須仰賴著多軸奈米精密驅(qū)動及定位之技術(shù),因此開發(fā)具多軸
微加工操作之超精密定位機(jī)構(gòu)是急迫需要的。本計劃首先將運(yùn)用氣壓伺服控
制的技術(shù)來建構(gòu)一4軸氣壓微操作系統(tǒng),并于氣壓伺服控制的過程中,將針對
氣壓非線性之特性如死區(qū)遲滯、摩擦力等作模式分析,及設(shè)計一非線性補(bǔ)償
器來克服氣壓非線性對控制精度的影響。
然后結(jié)合非線性補(bǔ)償器設(shè)計一智能型多軸氣壓精密定位控制器,并設(shè)計一多軸
解耦合補(bǔ)償器來補(bǔ)償耦合現(xiàn)象產(chǎn)生之誤差,以有效提升多軸氣壓伺服微操作系
統(tǒng)之精度及穩(wěn)定性,進(jìn)而使所建構(gòu)之4軸氣壓微操作系統(tǒng)其各軸具有高穩(wěn)定之微
奈米之微操作定位精度。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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