標(biāo)題：電子顯微鏡觀察披覆基板表面晶粒尺寸大小
信息分類(lèi):站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-10-7 0:41:52
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正文:
電子顯微鏡觀察披覆基板表面晶粒尺寸大小
利用過(guò)渡相氧化鋁溶膠(θ-相氧化鋁)為主原料，添加適當(dāng)量之納米（<50nm）α-Al2O3粉末和水鋁礦溶膠當(dāng)作晶種，
且水鋁礦溶膠具有抑制α-相氧化鋁晶粒成長(zhǎng)的作用，再將膠體以旋鍍方式涂佈于商用氧化鋁基板表面，
利用場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡(FE-SEM)、表面粗度量測(cè)儀(SJ-201與α-step)、X光繞射實(shí)驗(yàn)(XRD)等儀器分析，
觀察經(jīng)披覆后的氧化鋁基板表面形貌和表面粗度值的改變。
以穿透式電鏡(TEM)觀察得知，添加3wt%和9wt%的水鋁礦前置物時(shí)，
確實(shí)有發(fā)現(xiàn)水鋁礦包覆在θ-Al2O3表面的行為，當(dāng)添加水鋁礦前置物的含量增加至9wt%時(shí)，
其凝聚現(xiàn)象變得非常嚴(yán)重。選取添加水鋁礦前置物含量為3wt%的披覆基板，將其燒結(jié)至1500oC持溫2小時(shí)后后，
由SEM影像觀察得知，水鋁礦可以抑制α-相氧化鋁的晶粒成長(zhǎng)；將披覆后之基板在不同溫度(1200oC-1500oC
)熱處理后，利用α-step量測(cè)結(jié)果得知，當(dāng)燒結(jié)溫度未超過(guò)1400oC時(shí)，
所量測(cè)得到的表面粗度Ra值確實(shí)有較未經(jīng)披覆處理基板低，且最大降幅達(dá)到64%，
但當(dāng)燒結(jié)溫度升高至1500oC時(shí)，已披覆基板的表面粗度值和未披覆基板的表面粗度值并無(wú)太大的改變，
此乃因已披覆基板之表面晶粒均已經(jīng)發(fā)生晶粒成長(zhǎng)所致。
關(guān)鍵字:過(guò)渡相氧化鋁、旋鍍法、表面粗度值、前置物
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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