標題：電源測量儀器-金屬材料或元件特征分析工具顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-10-25 17:28:44
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正文:
進行任何材料或元件特性分析，非常需要能執(zhí)行精準直流、交流阻抗、超快速 I-V 或
脈沖 I-V 的量測能力。從測試設備到半自動或手動探針臺的復雜接線，可能使晶圓準
確量測不容易達到。本文探討直流、多頻電容、超快速 I-V 和脈沖測試的接線技術，
以及說明適當接地和屏蔽的重要性、針對特定量測選擇適當轉接，和常見轉接問題的
解決。
直流量測的配線
了解待測訊號的大小較容易推定可能誤差源。為簡單起見，假設所有待測信號既不是
高電壓（即，大于 100V）也不是大電流（大于 200mA）。那誤差來源就可分為三類：
泄漏電流，靜電干擾和機械效應。
泄漏電流
所有流過非預期路徑的電流，例如流經(jīng)轉接器的絕緣體。當待測物的阻抗大小近似于
電路上各種絕緣體時，泄漏電流就會形成量測問題。使用具有鐵氟龍或聚乙烯高阻值
絕緣體的高品質電纜是最簡單的解決方法。較好的電纜同時較能減少電介質吸收的效
應，其也是絕緣材料的一項功能。
盡管使用有品質電纜對減少泄漏電流大有幫助，總是還不太足夠。重要的是要
了解當一般像電源量測單元(SMU)的直流儀器，經(jīng)由同軸電纜連接到待測物時將會發(fā)
生甚么狀況。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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