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正文:
鉆石研磨工具之中,較高品質(zhì)的工具為利用化學(xué)氣相沉積法
(CVD)使工具表面成長(zhǎng)鉆石薄膜,雖然 CVD 法所成長(zhǎng)的鉆石薄膜
其強(qiáng)度、均勻性和致密度等皆有相當(dāng)良好的表現(xiàn),但其制作成本相對(duì)較
高。因此,開(kāi)發(fā)一種低成本且創(chuàng)新,適用于中小企業(yè)的微型球狀磨削工具
之制作技術(shù)研究,刻不容緩
有關(guān)于微型工具成型技術(shù)方面,絕大多數(shù)的研究以圓柱、三角柱、四
方柱及針狀等微細(xì)工具為主,鮮少關(guān)于微軸前端呈球狀之研究。而早期研
究曾利用單發(fā)放電加工法將微型純鎢電極前端,制作成微小圓球狀之微細(xì)
軸,因其微軸直徑 30μm 及球徑 40μm,但其軸長(zhǎng)為 300μm,因此長(zhǎng)寬
比較大而僅能作為探針之用,或作為球狀電極放電加工微模穴
但微細(xì)放電加工法仍有其缺點(diǎn),例如放電后的孔洞表面所形成的再鑄層,
易含微裂痕與微氣孔,且表面光度不佳,影響表面的品質(zhì),尚需二次加工
進(jìn)行表面研拋
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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