標(biāo)題：自顯影樣品的制備及觀察-倒置熒光顯微鏡觀察樣品
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-11-2 20:06:27
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正文:
自顯影樣品的制備及觀察-倒置熒光顯微鏡觀察樣品實(shí)驗(yàn)
顯影：
所謂顯影，以正光阻而言，就是將曝光時(shí)有受光的光阻以顯影液
洗去，留下未受光的光阻于基板上。各種光阻所使用之顯影液不同，
以本實(shí)驗(yàn)而言，AZ1500 所使用的光阻顯影液為 AZ300MIF。
1. 顯影時(shí)間：若時(shí)間太短，則受曝光的光阻會(huì)有殘留；若時(shí)間太長(zhǎng)，
則未受曝光的光阻也會(huì)被洗掉。
2. 欲顯影樣本之線寬：一般而言，線寬越寬，顯影時(shí)間越長(zhǎng)。
3. 顯影時(shí)是否搖晃：搖晃會(huì)加快顯影速度，但將使得顯影時(shí)間不易
控制，且容易使所有的光阻都被洗去；但若不搖晃，光阻易停留
在樣本表面，不易散去。因此建議輕微晃動(dòng)樣本，以減少實(shí)驗(yàn)上的誤差
.曝光：
曝光所使用之波長(zhǎng)與曝光時(shí)間取決于所使用之光阻。
用之光阻皆是以 I-line 紫外光來(lái)曝光。
光組為 AZ1500 其曝光時(shí)間為4 秒
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4857.html
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