標(biāo)題：TEM電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)試樣制備步驟簡(jiǎn)介-金屬研究
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-11-6 17:32:06
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正文:
TEM 之俯視圖(plan-view)試樣制作步驟如下：
（1） 首先使用熱熔膠將試樣固定于載玻片上，薄膜面與載玻片相貼。在熱熔膠
未凝固時(shí)適度的移動(dòng)樣品使殘留氣泡排出。
（2） 使用水砂紙，依照粗細(xì)度號(hào)數(shù)由小到大(數(shù)碼越小，砂紙?jiān)酱�，�?hào)碼分為
120，400，800，1200，1500，2000)研磨樣品至 20 μm 以下。要注意在研
磨時(shí)必須將上一號(hào)數(shù)砂紙的刮痕抹除后才可換下一號(hào)數(shù)的砂紙繼續(xù)研磨，并且
要更換不同之研磨方向。
（3）使用鉆石砂紙拋光，依照號(hào)數(shù) 2 μm、1 μm、0.5 μm 之順序更換砂紙， 直到
完全消除試樣上的刮痕為止，其目的是為了減小試樣上的殘留應(yīng)力。
（4）使用 G1 膠將銅環(huán)固定在研磨完成的試樣上，之后放入加熱爐中加熱 30 分鐘
使 G1 膠硬化。
（5）將超出銅環(huán)部分的試樣清除，之后將完成的試樣從載玻片上取下并浸泡于丙酮
中，持續(xù)浸泡一天，目的是清除試樣上因上述步驟所造成的臟污并保持試樣之清潔。
（6）將浸泡在丙酮中之試樣取出，使用離子薄化機(jī)(ion miller)進(jìn)行試樣薄化。首先
需使用高角度(8°)轟擊試樣直至試樣中央剛好出現(xiàn)一小破洞后，在使用小角度(4°)將薄區(qū)修大。
（7）最后將試樣取出并放置于光學(xué)顯微鏡下觀察試樣破洞，若在破洞邊緣出現(xiàn)彩虹
般之七彩干涉條紋及代表此區(qū)就是薄區(qū)，之后即可放入 TEM 下觀測(cè)， 反之則
必須繼續(xù)使用小角度轟擊試樣直至薄區(qū)出現(xiàn)為止。
使用場(chǎng)發(fā)射槍穿透式電子顯微鏡(field emission gun transmission electron microscope，F(xiàn)EG-TEM)
來觀察薄膜的平面微結(jié)構(gòu)
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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