標(biāo)題：試樣表面粗糙度適合用何種儀器來測定
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作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-12-11 23:03:07
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正文:
試樣表面粗糙度適合用何種儀器來測定
掃描電子顯微鏡
在掃描電鏡中，入射試樣的電子與試樣原子相互作用，
從試樣激發(fā)或電離產(chǎn)生各種信號，
這些信號都可作為成像信號.由于二次電子能量低(50eV以下)，
只有距試樣表面很近(約100?)的表層產(chǎn)生的二次電子才能溢出試樣.
被激發(fā)出的二次電子量的多少，主要與試樣表面的凸凹有關(guān)。
故二次電子象襯度主要反映試樣表面的形貌特征和光學(xué)顯微鏡比較，
掃描電鏡突出的特點(diǎn)是二次電子象富有很強(qiáng)的立體感;
具有較高的分辨能力(掃描電鏡、透射電鏡、光學(xué)顯微鏡
的分辨率分別為I00?,10?大和0.2um)和較大的焦深，
對于表面起伏較大的試樣，在掃描電鏡二次電子圖像上
可以同時聚焦清楚。它是對物質(zhì)表面缺陷研究的一種有效手段
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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