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正文:
入射光(
金相)
顯微鏡的光學(xué)設(shè)計有何特點(diǎn)
干涉反差照明效應(yīng)由將光源分裂成參考光束和目標(biāo)光束的光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生
。在某些系統(tǒng)中,這些光束在樣品平面上被會聚到一起(目標(biāo)光束),其他光
束則被聚焦到樣品的上方或下方.這類系統(tǒng)通常稱之為雙聚焦系統(tǒng)。(諾馬爾
斯基)差動干涉反差照明系統(tǒng)利用改進(jìn)的剪切系統(tǒng)來形成參考光束和日標(biāo)光
束。在剪切系統(tǒng)中,兩條光束均被聚焦在樣品平面內(nèi)。
不過,它們在水平方向有位移,目標(biāo)光束對樣品照明,且在進(jìn)入目鏡之前重
新被組合。用于入射光(金相)顯微鏡的干涉反差照明方法率先由弗蘭肯(M.
Francon)創(chuàng)立,他將薩瓦特板(雙層石英.精體平板)用于產(chǎn)生分裂光束.這種
入射光顯微鏡干涉反差照明過程允許對一些三維目標(biāo),如冶金樣品、塑料、
玻璃以及集成電路芯片的復(fù)合結(jié)構(gòu)進(jìn)行顯
微觀察。這種方法可以被電子設(shè)備
故障分析入員十分有效地用于考察各種各樣的電子產(chǎn)品。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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