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正文:
觸針的表面光潔度
測量顯微鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計
在用觸針的表面光潔度測量顯微鏡的機(jī)構(gòu)設(shè)計方面,成問題的是,為了
求得正確的斷面形狀曲線,要有必要的機(jī)構(gòu)。把它與電動式表面光潔
度測量顯微鏡進(jìn)行具體地探討之后,就能理解下述各方面的設(shè)計問題。
(1)將機(jī)械量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏康淖儞Q器就是所調(diào)的位移型變換
器。這種變換器必須是觸針即使停在任意位置,也會得到對應(yīng)于該位置的
輸出信號,必須是具有頻率特性的變換器。為了將具有這種性能的位移型
變換器裝入觸針或它的夾持裝置的機(jī)構(gòu)設(shè)計和結(jié)構(gòu)設(shè)計,
(2)由于采用作為測量基準(zhǔn)的是觸針夾持裝置的直線運(yùn)動
的軌跡(在這種情況下,夾持裝置內(nèi)裝有變換器,以后稱之為傳
感器)。傳感器要有高精度直線運(yùn)動的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和由此而產(chǎn)生的
裝置。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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