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正文:
常規(guī)的位移條紋.在另外一些類(lèi)型中,可用干涉米增強(qiáng)象襯度
表面具有低反射率和高透射性,便可看到雙光束菲氏(Fizeau)干
涉條紋.參考表面可以是薄玻璃片(例如蓋板玻璃)或者是為適合
顯微鏡物鏡端部而設(shè)計(jì)的某種輔助裝置.更為完善的雙光束儀器
的優(yōu)點(diǎn)是:
用不著與被觀察表面緊密接觸的參考表面,可在放大倍數(shù)相當(dāng)?shù)?/div>
的情況下用來(lái)研究晶片表面的平整度
用雙光束儀器檢測(cè)平整度,大概直至其波長(zhǎng)的十分之一也有效。
為提高反射性而將參考表面和待測(cè)表面輕微鍍鋁時(shí),會(huì)產(chǎn)生多
次反射,線條變得敏銳了.如果十分細(xì)心的話(huà)就能夠把靈敏度
增加到5~10埃.
還有一些利用干涉法以獲得象襯的方法,最簡(jiǎn)單的一種
方法是下述常規(guī)的相襯.然而,以偏振光顏色為基礎(chǔ)的更加精巧
的技術(shù)使用起來(lái)更令人滿(mǎn)意,它通常能給出強(qiáng)度更高的象來(lái).
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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