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正文:
在適當溫度下可以揮發(fā)的金屬化合物可以用來產(chǎn)生氣相
擴散層。已經(jīng)知道在氣相中發(fā)生并導致形成擴散層過程的兩
種形式:還原反應(或置換反應)時,析出活性元素及其沉積,
和含擴滲元素化合物的熱裂解。
在第一種情況下,用鹵化物作活性元素來源,用現(xiàn)成的鹵
化物,或者以一定的工藝方法制成的鹵化物形成涂橙層。裝
在擴散室中的鹵化物,可以進行置換反應、還原反應或比例分
解反應,分解出活性元素.
在還原過程中,在盛氣態(tài)金屬鹵化鹽的室內(nèi)通入氫氣。也
可以用氯化氫或氯代替氫。但在后一種倩況下,當違反氣體
規(guī)范時,基體金屬表面出現(xiàn)腐蝕現(xiàn)象。有時,基體金屬
在真空中先涂覆揮發(fā)的金屬薄膜。這種底層有利于以后從其
鹵化物蒸氣中進行金屬沉積。
所有用現(xiàn)成金屬鹵化物進行滲金屬的實驗室設備和半工
業(yè)化設備中都有蒸發(fā)器、帶加熱裝置的氣密室、載體氣凈化系
統(tǒng)(還原劑)和廢氣排出系統(tǒng)。進行氣相滲金屬一的典型周期式
設備
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北京顯微鏡百科
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