標(biāo)題：包裝工序中樣品劃痕顯微鏡檢驗(yàn)儀器-顆粒分析
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-12-8 1:50:16
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正文:
包裝工序中樣品劃痕顯微鏡檢驗(yàn)儀器-顆粒分析
光刻膠也適用于干法刻蝕條件，而不必增加工藝步驟。.在干法刻
蝕的情況下，采用較短波長的成像技術(shù)就成為取得超大規(guī)模集成
電路較高分辨率的一種簡單方法。
保護(hù)膜在防止顆粒玷污中的作用
使用保護(hù)膜的目的是為了防止可能降落到初縮和精縮掩膜版
上的顆粒雜質(zhì)或其他空氣中的雜質(zhì)，從而降低對初縮和精縮掩膜
版本身的清洗要求。只有當(dāng)保護(hù)膜遭到損壞時，才需要將保護(hù)膜
從掩膜版上取下進(jìn)行更換。
在顯微鏡檢驗(yàn)和其他檢驗(yàn)方法中，會引起掩膜版的損傷，從
而降低掩膜版的質(zhì)量。在所有的標(biāo)準(zhǔn)曝光操作過程中，保護(hù)膜是
始終與掩膜版枯附在一起的。保護(hù)膜本身也有一個清洗的問題，
可以用經(jīng)過過濾的、干燥的氮?dú)獯蹈苫蛴贸瑑羧ルx子水沖洗來除
去落到保護(hù)膜表面上的灰塵、臟物和其他雜質(zhì)。假如保護(hù)膜受到
很嚴(yán)重的沽污或物理損傷，那就必須從掩膜版上取下，經(jīng)過清洗
后再裝到掩膜版上，或者裝上一個新的保護(hù)膜。
為了保證掩膜版表面受到最少的沾污，供應(yīng)掩膜版的廠商最
好是將保護(hù)膜作為一個附件，在掩膜版包裝工序中，將保護(hù)膜安裝
到清洗極好的、沒有顆粒沽污的、沒有缺陷的精縮和初縮掩膜版
上，·然后掩膜版和保護(hù)膜一起作為一個組件進(jìn)行裝運(yùn)。進(jìn)入圓片
生產(chǎn)線之后，在進(jìn)入任何設(shè)備之前，應(yīng)在最潔凈的環(huán)境下拆卸，
這樣就可以大大降低掩膜版與保護(hù)膜之間嵌入顆粒雜質(zhì)的可能
性。假如在生產(chǎn)線中安裝保護(hù)膜，那么在保護(hù)膜的下表面和掩膜
版的上表面之間肯定會嵌入幾個顆粒雜質(zhì)。由于安裝保護(hù)膜是一
個比較簡單的工作，又不需要昂貴和復(fù)雜的設(shè)備，因此這項(xiàng)工作
應(yīng)該在10級的超凈環(huán)境下完成，而準(zhǔn)備安裝保護(hù)膜的掩膜版應(yīng)該
是剛剛清洗好的。保護(hù)膜可以同時安裝在掩膜版的兩個面上，提
供雙重保護(hù)，可避免過多的情況，阻止進(jìn)一步的沾污。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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