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正文:
微裝配與微操作的特點是定位精度高-工業(yè)
顯微鏡
機器人子系統(tǒng)
微裝配與微操作的特點是定位精度高,對于微米尺
寸的器件,它的定位精度要求達到納米量級。與傳統(tǒng)的
工業(yè)機器人相比,微裝配與微操作機器人有兩個顯著的
特點:其一,機器人的自由度減少,通常為三個自由度,
即只有位置自由度而沒有姿態(tài)自由度。為了增加操作
的靈活性,一般用微運動平臺與機器人協(xié)作完成復雜的
操作。機器人與運動平臺的自由度總和為五個。對于
復雜的操作,也可以在機器人的末端增加一個旋轉自由
度,使系統(tǒng)的自由度達到六個。在微裝配和微操作系統(tǒng)
中,本質(zhì)上是將機器人的多自由度進行了分解,一部分
自由度由機器人完成,另一部分由運動平臺完成,從而
提高機器人和運動平臺的精度。所以在系統(tǒng)中,運動平
臺一般是必須的。其二,在機器人的設計中拋棄了傳統(tǒng)
的機械傳動方式,也不用伺服電機進行驅動,而是采用
壓電陶瓷或超聲電機進行直接驅動。壓電陶瓷驅動
的特點是精度高,可達到納米定位精
度,但它的缺點是行程小,一般采用蠕動式機構來克服這一問題。
有的文獻中采用串一并聯(lián)的結構形式設計機器人,串聯(lián)部
分采用傳統(tǒng)的傳動方式,利用步進電機驅動,并聯(lián)部分采用并聯(lián)機構,
利用壓電陶瓷驅動,這種結構雖然能夠增加機器人的自由度,
增加了行程,但機構復雜、控制困難,同時由于傳動鏈長,精度反而會下降。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科