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正文:
設(shè)備與實(shí)驗(yàn)方法
本實(shí)驗(yàn)采用的設(shè)備由以下幾部分組成:
(1)電源及電子光學(xué)系統(tǒng),(2) X線分光及檢測系統(tǒng),
(3)試樣的光學(xué)觀察及微動系統(tǒng),(4)X線強(qiáng)度測定及
記錄系統(tǒng),(5)電子掃描系統(tǒng)。
電源及電子光學(xué)系統(tǒng)
由穩(wěn)定性非常高的3^50 kV的高壓發(fā)生裝置(常用的為
10^-30kV)、放射出熱電子的電子槍、限定入射電流量的會
聚透鏡、用以使試樣上的電子束直徑縮小到1 微米以下的物鏡
以及象散校正裝置等組成。另外,相對于試樣的電子束的入射
角為直角。
使電一光學(xué)系統(tǒng)的電子束與陰極射線管的射線同時(shí)在
X-Y方向上掃描,通過標(biāo)識X線、電子束(反射及吸收)的強(qiáng)
度信號,調(diào)諧陰極射線管的亮度,從而可以得到表面的情況。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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