標(biāo)題：從較小導(dǎo)電率的金屬樣品定量測(cè)量粗糙度光學(xué)儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-7-15 13:32:16
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正文:
光學(xué)定量測(cè)量粗糙度的能力在一些領(lǐng)域中是有價(jià)值的，諸如在危
險(xiǎn)的和遠(yuǎn)距離的環(huán)境中表面質(zhì)量自動(dòng)檢測(cè)， 這介工作也有特殊價(jià)
值，缺陷圖象能被表面粗糙度的影響所覆蓋，除非對(duì)光學(xué)檢測(cè)來(lái)說(shuō)
缺陷較大，或者缺陷的空間頻率圖象不同于鄰近的表面粗糙度的散
射光圖象，因此，需要用諸如要相干光系統(tǒng)中所測(cè)得的散射光遠(yuǎn)場(chǎng)
圖象的特性，來(lái)評(píng)定系統(tǒng)對(duì)缺陷檢測(cè)的靈敏度。
目前所用的方法具有若干缺點(diǎn)，主要是在很大程度上依賴于儀器
操作者的主觀技巧和經(jīng)驗(yàn)，參考表面或比較樣的使用、接觸式針輪
廓儀或者顯微干涉技術(shù)，光學(xué)反射的一些方法包括試件運(yùn)動(dòng)，光束
運(yùn)動(dòng)或探測(cè)器掃描。遺憾的是，這樣的測(cè)量通常是費(fèi)時(shí)間的限制于
較小的取樣范圍內(nèi)。
此外，當(dāng)從較小導(dǎo)電率的金屬樣品上反射時(shí)，由于相移與表面斜
率有關(guān)，散射光通常被部分地消偏振了，然而，對(duì)導(dǎo)電率很大的樣
品，在我們的實(shí)驗(yàn)中，用線性偏振激光束照射試樣，沒(méi)觀察到明顯
的橫向偏振效應(yīng)，因而，這方面工作也沒(méi)繼續(xù)做，最后，機(jī)加工金
屬零件的完工表面，通常其粗糙度是各向異性，刀具的痕跡或紋理
方向是有方向性的，決定于刀具相對(duì)于工件的運(yùn)動(dòng)，這種疊加上的
痕跡將歪曲或改變散射光的分布，在我們?cè)囼?yàn)中用的朵加工表面的
散射光圖象中能觀察到這種方向的差異，計(jì)算了不對(duì)稱粗糙度圖形
的影響，同時(shí)，作為這種曲解的模擬，也計(jì)算了將正弦變化疊加到
高斯隨機(jī)表面上的綜合影響，其結(jié)果表明相干光處理方法的應(yīng)用上
有限的而不是萬(wàn)能的，在這方法中，需要進(jìn)行校正，校正方法與具
體的精加工過(guò)程有關(guān)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7199.html
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