標題：測試設備中使用顯微鏡檢查管芯中結(jié)的缺陷
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-7-27 21:53:57
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正文:
測試設備中使用顯微鏡檢查管芯中結(jié)的缺陷
由于大量生產(chǎn)中使用的金屬層的硬度較低，只要放錯位置，探針
頭產(chǎn)生的壓力就會引起損傷。
在生產(chǎn)過程的探針測試中，務必使探針頭保持干凈以保證
良好的歐姆接觸。清洗辦法是將蘸過TaE(三氯乙烯)的棉花
簽擦洗探針頭。
成品電路的探針測試常使用具有多頭探針的探針臺。探針
頭的位置與某一特定電路的熱壓點位置相吻合。這些探針臺可
節(jié)省調(diào)節(jié)時間，性能可靠，對電路的損傷最小，并可由操作人員
迅速地加以改變。
探針測試設備中使用兩種基本的顯微鏡。一種是僅顯示管
芯上金屬化圖形的標準雙筒顯微鏡；另一種是尚能觀察到結(jié)結(jié)
構(gòu)的金相型垂直照明雙筒顯微鏡。后者的優(yōu)點是，在探針測試
過程中操作人員能檢查管芯中結(jié)的缺陷。這兩種顯微鏡的工作
距離應均為3至4英寸(8至10厘米)。
探針頭
探針頭有幾個關(guān)鍵尺寸要求。第一，探針頭的半徑必須小
到足以能探測氧化層內(nèi)0．4X0．4密耳(10×10微米)的窗口；
第二。探針棒應細到足以使相鄰探針的間距在1或2密耳(25
至50微米)之內(nèi)；第三，當探針以適當壓力壓在半導體材料上
時，探針頭必須形成歐姆接觸；最后，探針頭應是耐磨的。
探針通常由高級鋼材(鋼琴弦)或鎢制成。探針既可是細鎢
絲也可是細鋼絲(25密耳／0．6毫米)，以承受某些彈簧負荷。探
針頭可用磨削、腐蝕或焊槍熔融等方法來成形}鎢棒一般是磨
赳形成探針頭的。若要使針頭極細(針頭半徑最小)，可采用腐
蝕法。腐蝕設備一般采用浸泡操作，以使探針頭加工成細錐形。
探針頭應一直腐蝕到使它的最大半徑小于0．0002英寸。
探針材料的選擇應滿足獲得歐姆接觸的要求。按定義，歐
姆接觸是“在不影響器件有效特性的情況下，為進出半導體材料
提供電流通路”的一種接觸。接觸在電學與力學上都必須是穩(wěn)
定的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7250.html
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