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正文:
電子探針(電子光學(xué)和X射線銜射儀)的分析原理
使用極細(xì)的電子光束射入樣品的表面,因而能夠激發(fā)出
樣品里面所含元素的X射線,分析對比其X射線的波長就
可以知道元素的類別了;并且分析反射出的特征X射線
的強度就可以知道該元素的含量有多少了;電子探針
顯微鏡的外面的鏡筒部分的構(gòu)造和電子掃描顯微鏡差不多
只不過光學(xué)部分使用了X射線;用來檢測樣品的X射線的
特征波長,電子探針這些特點可以用被用來觀察樣品
微觀 區(qū)域的化學(xué)成分分析;
它主要通過二次電子和背射電子結(jié)合來觀察樣品的微觀區(qū)域
的形貌;
同時對樣品進(jìn)行X特征分析,得出樣品的元素微觀區(qū)域的元素
含量和元素種類;
什么是背射電子呢?背射電子是指,入射電子和樣品相互作用
之后再樣品逸出的一種高能電子;它的能量基本上都接近于入射的
電子能量;使用背射電子可用來觀察非進(jìn)服飾的拋光表面的元素分布
以及相的分布;并也可以進(jìn)行元素的鑒定分類和所含有量的定量分析
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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