標題：斷面的表觀厚度會隨對比度和亮度樣品分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-5-7 20:36:16
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正文:
斷面的表觀厚度會隨對比度和亮度樣品分析顯微鏡
將光束射至覆層，由覆層和基體表面反射的光又射至接收反光
鏡，從接收反光鏡反射出來的光，通過透射窗經(jīng)偏振器、透鏡、
光譜裝置最后由記錄儀器進行顯示。通過記錄儀器的電信號的控
制，可以在達到規(guī)定的覆層厚度時自動關(guān)斷沉積的進行．
掃描電子顯微鏡覆層厚度測量
掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡。掃描電鏡是用電子束來代替
光源，可以得到波長極短的“照射光源”，利用電子束制成的掃
描電子顯微鏡具有極高的放大倍數(shù)和極高的分辨率，因而越來越
得到廣泛的應(yīng)用。
射向被測試件表面。
為了避免電子束在鏡簡里與空氣分子發(fā)生碰撞而引起電子散
射，整個電子光學系統(tǒng)必須保持足夠的真空，通常專配置排氣泵
(擴徽泵和機械泵)來保證。
從電子槍射出來的電子束經(jīng)過電磁會聚透鏡，將電子柬斷面
縮小，在電磁透鏡中還裝有X y偏轉(zhuǎn)線圈進行二維掃描，經(jīng)電磁
透鏡會聚的電子不斷在試樣被測區(qū)進行掃描測試，由試樣發(fā)射的
二次電子經(jīng)閃爍探測器接收；在經(jīng)過放大之后再加到顯像管，由
于顯像管偏轉(zhuǎn)線圈和掃描電子顯微鏡鏡筒偏轉(zhuǎn)線圈的掃描電流嚴
格同步，所以探測器逐點探測二次電子信號將一對應(yīng)地調(diào)制顯
像管相應(yīng)點的亮度，產(chǎn)生覆層和基體的斷面圖像。
在顯示覆層斷面圖像時，斷面的表觀厚度會隨對比度和亮度
的設(shè)定而變，當放大倍數(shù)不變，這種厚度變化也可能還比較大．
為了減小測量的不確定度，通常對對比度和亮度的設(shè)定應(yīng)讓圖像
顯示出每一邊界表面的細節(jié)部分。
在測量中，放大倍數(shù)會隨時間發(fā)生變化，因而儀器的校正要
在測量前后的短暫時間內(nèi)進行。在保證校正條件的放大倍數(shù)不變
的情況下，可采取多點取平均值的方法，以便得出較準確的實際
覆層厚度．
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8369.html
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