標(biāo)題：電鍍電極的機(jī)械壓電式傳感器技術(shù)的簡(jiǎn)介
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-5-12 13:13:38
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正文:
電鍍電極的機(jī)械壓電式傳感器技術(shù)的簡(jiǎn)介
壓電式傳感器
利用材料的壓電性質(zhì)可以檢測(cè)彈性波或電鍍電極的機(jī)械諧
振，同時(shí)還可以直接檢測(cè)光學(xué)鏡面的變形等。
至少有三種類型的傳感器可用于探測(cè)基片內(nèi)部傳播的波：
①體波諧振器(大部分由雙面鍍金的石英蝶或盤構(gòu)成)；②表面
波(SAW)傳感器；③薄盤式傳感器(SH波和Lamb波)。這些傳
感器可用于不同場(chǎng)合，但應(yīng)用最多的還是石英微擺。其作用原理是
通過(guò)沉積極少量的材料來(lái)改變諧振頻率，分辨率能達(dá)到10-11 N
量級(jí)。
表面波裝置由能進(jìn)行壓電傳播的單一或者附有多種材料薄膜
的硅片組成，壓電體是其中之一，它易于形成彈性波和進(jìn)行電檢
測(cè)。表面波傳感器可以用來(lái)測(cè)量物理量，如溫度、壓力等，也可以用
來(lái)測(cè)量氣體成分等化學(xué)量。因此，人們將某些吸收性化學(xué)材料涂在
傳播表面上來(lái)制作傳感器。
借助阻斷轉(zhuǎn)換器，還可以靠壓電效應(yīng)形成和檢測(cè)Lamb波等
表面波�；暮穸瓤梢詤^(qū)分出雷利波的形式。當(dāng)厚度達(dá)到聲波
波長(zhǎng)數(shù)量級(jí)，SH波或Lamb便可以傳播。
電容式傳感器
電容檢測(cè)傳感器是通過(guò)兩電極間的電容變化來(lái)達(dá)到檢測(cè)目
的。兩電極中，一個(gè)是作為參考的固定電極，另一個(gè)是具有可變形
結(jié)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)電極。表面的改變或電極間隔變化都可以引起電容變
化。在硅和鎳上經(jīng)微細(xì)加工而制成的加速度計(jì)通常就是由兩對(duì)這
類電極結(jié)構(gòu)構(gòu)成的。電極間隔的變化可以用差分電路測(cè)量
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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