標(biāo)題：光電測量可使分辨率低于1μm-測量工具顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-5-17 19:47:28
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正文:
電容步進(jìn)傳感器
電容步進(jìn)傳感器利用附有金屬箔的細(xì)分刻度的刻度尺。相同金屬
箔附加在與測量元件相對的刻度上，因此測量元件與刻度尺構(gòu)成電容
器。如果測量元件沿刻度尺移動(dòng)，電容成正弦曲線變化，可以得到通
過零交叉點(diǎn)的刻度周期的數(shù)量。補(bǔ)充說明一點(diǎn)是正弦曲線允許分辨率
達(dá)到0．1μm。在這里，利用二次劃分通過四分之一級數(shù)周期來補(bǔ)償
這一事實(shí)，可以感測到運(yùn)動(dòng)的方向。電容步進(jìn)計(jì)量器用于游標(biāo)卡尺和
千分尺。由于低能量的要求，測量儀器用一塊電池可以連續(xù)工作一1
。電感步進(jìn)傳感器
電感步進(jìn)傳感器最有名的例子是感應(yīng)器。依據(jù)類型，感應(yīng)器測量
系統(tǒng)能用于角度測量(旋轉(zhuǎn)感應(yīng)器)或位移測量(線性感應(yīng)器)。曲線導(dǎo)
線用于非磁性、平的底層原材料，例如，通過刻蝕方法制作玻璃。一
個(gè)在上面帶有要求的測量長度和一個(gè)短的可移動(dòng)的指針的刻度尺。有
兩個(gè)分離導(dǎo)線，偏置四分之一周期，這是感應(yīng)器的基本構(gòu)造。
交流電適用于刻度尺的導(dǎo)線。依據(jù)傳遞原理，在指針導(dǎo)線中產(chǎn)生
感應(yīng)電壓。感應(yīng)電壓的振幅大小取決于刻度尺中導(dǎo)線和指針的相對位
置。如果兩條路徑恰好吻合，感應(yīng)電壓的振幅為最大值。如果指針導(dǎo)
線恰好在刻度導(dǎo)線之間，沒有感應(yīng)信號產(chǎn)生。測量信號可用類似的方
法估計(jì)。對磁和電容步進(jìn)傳感器的方法描述如上。
這樣的感應(yīng)器經(jīng)常用于機(jī)床定位，因?yàn)樗鼘覊m不敏感，相反的
光電測量方法描述如下。在線性導(dǎo)軌上允許通過連接幾個(gè)刻度尺測量
任何長度。用一個(gè)1～2mm的電極定位，可使分辨率低于1μm
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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