標(biāo)題：測淀積溫度應(yīng)用兩種類型的溫度計：高溫計和熱電偶
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-5-26 21:37:58
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正文:
測淀積溫度應(yīng)用兩種類型的溫度計：高溫計和熱電偶
測淀積溫度，主要應(yīng)用兩種類型的溫度計：高溫計和熱電偶。
高溫計
根據(jù)定義，高溫計是一個用于高溫測量的溫度計。此溫度
計一般用于淀積室，監(jiān)測淀積溫度。為了描述所關(guān)注的不同點的凈
溫度，幾個這樣的傳感器可以安裝在涂層裝置內(nèi)。不管對于整個生
產(chǎn)還是對于試驗工廠，高溫計都是節(jié)省成本和較靈敏的解決方案，
對于在原位、無接觸、非破壞性的監(jiān)測，高溫計是可靠的工具。高
溫計可以作為模擬或數(shù)字傳感器，其具有與積分?jǐn)?shù)據(jù)獲取系統(tǒng)相連
接的基本結(jié)構(gòu)。
熱電偶
除了壓力測量外，用熱電偶也能進(jìn)行非常精確的溫度測量
，當(dāng)兩個不同的金屬導(dǎo)線連接成一個線圈，并且兩個連接點有不同
的溫度時，會在熱電偶內(nèi)產(chǎn)生一個非常小的電壓差(用毫伏計測量)
。既然電壓依靠連接點的溫度不同，其中一個點的溫度必須保持已
知。否則，電子補(bǔ)償線圈必須作為這個裝置的組成部分來測量傳感
器的實際溫度。當(dāng)提供電子絕緣和密封時，設(shè)計特殊的電子裝置來
傳送熱電偶儀器的信號。
涂層過程控制中的氣體分析器
對于涂層過程監(jiān)測的一個非常重要的參數(shù)是過程殘余氣體
的分析和控制。在這種方法中，應(yīng)用以前的經(jīng)驗，當(dāng)選定的氣體規(guī)
格超出預(yù)定的限制時，操作者通過報警器得到警告。結(jié)果可以避免
，系統(tǒng)的停工以及質(zhì)量低劣的產(chǎn)品。在PVD涂層過程中必須控制的
氣體數(shù)據(jù)如下：
·基本壓力組成；
·氣體純度／組成；
·反應(yīng)氣體的分壓力。
對于氣體分析，應(yīng)用一個所謂的四極質(zhì)譜儀。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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