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正文:
通量傳感器
當(dāng)用于與真空爐相結(jié)合的高壓氣體淬火系統(tǒng)時,這種傳感器的開發(fā)用于限定
氣體淬火介質(zhì)。
感應(yīng)加熱控制
電磁感應(yīng)加熱通過在交替變化的電磁場中放入電磁感應(yīng)材料來完成。此過程
用于遍及整個工業(yè)領(lǐng)域的
金屬工業(yè)中。渦流的定義為,通過磁通量的變化,感應(yīng)
材料被感應(yīng)出電流。加熱和試驗都基于渦流過程。電阻系數(shù)和導(dǎo)磁率是主要的影
響因素,它們都受溫度的影響。
作為一個比較性的評估,對所提到的這個過程進(jìn)行了綜覽。然而,其有能力
檢測出更多特性,例如,局部尺寸,
微觀結(jié)構(gòu)的不同,裂紋,金屬負(fù)荷本身的加
熱和冷卻條件,所以,用于質(zhì)量控制和過程監(jiān)測也是可能的。
等離子體過程中的傳感器
許多熱處理過程,尤其是熱化學(xué)熱處理過程,通過應(yīng)用一個附加的電子等離
子體,其運行更加容易。等離子體過程也用于刻蝕、濺射、清洗。影響結(jié)果的主
要的宏觀參量是等離子體電流密度。等離子體電流密度可通過PCD傳感器
測量。
它是一個位于等離子體反應(yīng)器內(nèi)部的單獨的陰極區(qū)域。電流的測量和區(qū)分通過陰
極區(qū)域產(chǎn)生等離子體電流密度。此值可直接用于調(diào)節(jié)等離子體反應(yīng)器對于不同工
作負(fù)荷的電參數(shù)。
通過朗繆爾傳感器可測量出更詳細(xì)的關(guān)于等離子體的信息。局部的等離子體
參數(shù),例如電子和離子密度、溫度以及內(nèi)部等離體電壓都可被評估。在實際的應(yīng)
用中,當(dāng)朗繆爾傳感器表面被涂層或污染所改變時,其能顯示出重要的信號。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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