標(biāo)題：光學(xué)輪廓儀中使用的白光光源具有寬帶可見(jiàn)光譜
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-4 15:05:16
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正文:
光學(xué)輪廓儀中使用的白光光源具有寬帶可見(jiàn)光譜
白光干涉光學(xué)輪廓儀
白光干涉(wu)光學(xué)輪廓儀使用寬帶光源照明，其工作形式類似
于一個(gè)光學(xué)聚焦傳感器陣列，每個(gè)傳感器上接收到的干涉信號(hào)的位
置決定了最佳的聚焦位置。使用寬帶照明克服了在單波長(zhǎng)甚至是多
波長(zhǎng)技術(shù)中存在的局限性。WLI方法由于在MEMS元件、二元光學(xué)元
件及機(jī)械加工表面等工程表面測(cè)量中的應(yīng)用，早巳確立了它在光學(xué)
輪廓儀中的領(lǐng)先地位。WLI的垂直分辨力依賴于對(duì)信號(hào)的分析，它
和單波長(zhǎng)PSI方法(0．3nm)幾乎一樣好，但是通常情況下在3nm附近
。這里垂直分辨力的定義是在光滑樣品上測(cè)量差值的均方根(RMS)
。白光干涉
在干涉光學(xué)輪廓儀中使用的白光光源具有寬帶可見(jiàn)光譜，波長(zhǎng)
從380～750nm(紫外光到紅外光)。由于波長(zhǎng)帶寬很大這種光源的時(shí)
間相干性低，并且不能將其看做點(diǎn)光源，也就意味著它的空間相干
性也很低。光源很低的時(shí)間和空間相干性使得所產(chǎn)生的干涉條紋局
限于空間上。
為了在最佳聚焦位置獲得干涉條紋，參考鏡的位置也需要設(shè)置
在物鏡的最佳聚焦點(diǎn)。這可以分三個(gè)步驟：首先，將參考鏡從焦點(diǎn)
處移開(kāi)幾個(gè)或者幾十個(gè)微米；其次，將物鏡聚焦在具有一些特征的
檢測(cè)對(duì)象上，比如說(shuō)銳利而不太高的臺(tái)階上(此時(shí)還看不見(jiàn)條紋)；
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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