標題：非接觸式光學顯微鏡孔徑測量裝置的測量應(yīng)用
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-7-9 12:56:09
將本頁加入收藏
下一篇：工件類型和加工手段的不同,氣動技術(shù)的的應(yīng)用
上一篇：表面粗糙度輪廓儀器測定-表面粗糙度
點擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報價--丨--
---
---
---
正文:
兩棱面上形成的干涉條紋寬度等距的情況，當兩棱面形成的干涉條
紋不等距時，必須對每個棱面分別定度，并分別計算每個棱面上零
級條紋的移動。較好的方法是移動工作臺，使測量標準具時，一個
棱面的零級條紋的位置與測孔時同一棱面的零級條紋的頂點的位置
重合。這樣，只要計算另一棱面上零級條紋位置的移動，就可求得
孔徑對標準具尺寸之差。
本裝置的定度方法與接觸式干涉儀相同。不過，由于棱鏡面積
小，只能取3～4條干涉條紋來計算格值。
非接觸式干涉孔徑測量裝置的測量誤差包括：①干涉讀數(shù)系統(tǒng)
的誤差；②標準具誤差；③工件安裝調(diào)整不準確帶來的誤差；④環(huán)
境溫度變化帶來的誤差。
在①、②兩項誤差中，又包含著若干影響因素，在較嚴格控制
各項因素及溫差不超過0．2℃的條件下，對于直徑小于直徑20mm的
孔，此方法的極限測量誤差可小于±0．2μm。
上述干涉測孔的優(yōu)點是可以得到很高的讀數(shù)準確度。其缺點是
操作復(fù)雜，工作條件較苛刻。； 最后還應(yīng)指出，許多以直接比較
方式測量軸、孔的量具儀器，加用量塊或標準件后，也可以作徼差
比較測量，以提高測量準確度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8616.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商