標(biāo)題：微器件與外部界面尺寸結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)精度-計量自準(zhǔn)直儀
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-9-28 12:28:52
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正文:
微器件與外部界面尺寸結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)精度-計量自準(zhǔn)直儀
橫向尺度
微加工系統(tǒng)具有大約1μm的尺寸：一些器件具有5 μm或10μm結(jié)構(gòu)
時即可工作得很好了；而另一些器件需要100 nm結(jié)構(gòu)尺寸時才能具有較
好的性能。幾乎所有的器件均包含有100 μm尺寸的結(jié)構(gòu)，因為這是微
器件與外部世界的界面尺寸：很多器件需要電連接(在引線鍵合或凸點
焊接工藝中)；流體器件必須與毛細(xì)管或儲液池連接；太陽能電池和功
率半導(dǎo)體必須有較厚和較大的金屬面積將高電流帶出；與光纖的連接需
要與光纖差不多的尺寸結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)的尺寸均大約為100 μm。
窄細(xì)的線條可以用不同的方法制造，這主要取決于分辨率，也就是
分辨相鄰兩個結(jié)構(gòu)的能力，它定義了器件的分布密度。在討論微觀尺寸
時，分辨率很重要，但是在不同光刻工序中，結(jié)構(gòu)間的對準(zhǔn)也同樣重要
。根據(jù)一般經(jīng)驗，對準(zhǔn)精度是最小線寬的三分之一，與較差的分辨率和
較好的對準(zhǔn)相比，較高的分辨率但較差的對準(zhǔn)，只能獲得較低的器件分
布密度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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