標(biāo)題：高分辨率的圖像-電子顯微鏡相應(yīng)焦距較短
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-10-27 0:33:51
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正文:
高分辨率的圖像-電子顯微鏡相應(yīng)焦距較短
球差擴(kuò)散彌散圓直徑正比于孔徑半張角的三次方，同時(shí)樣品電
流與孔徑半張角的平方成正比。要想得到進(jìn)行能譜或者電子背散射
衍射分析所需要的大電流，必然會(huì)導(dǎo)致透鏡球差顯著增加。因此，
這兩者之間是相互矛盾的。一般來(lái)說(shuō)要想獲得高分辨率的圖像．就
應(yīng)盡量減少球差．采用小孔光闌擋住外圍電子束．這會(huì)大大降低樣
品電流．從而無(wú)法得到進(jìn)行能譜或者電子背散射衍射分析所需的束
流。
球差系數(shù)與透鏡的焦距成正比關(guān)系．一般來(lái)說(shuō)．透鏡焦距越長(zhǎng)
．其球差系數(shù)也就越大。而工作距離指的是透鏡極靴下表面與試樣
表面之間的距離，隨著工作距離的增加其透鏡聚焦焦距也相應(yīng)增加
，透鏡球差系數(shù)也相應(yīng)增加。因此，一般要獲得高分辨率的圖像應(yīng)
采用較小的工作距離．以保證球差擴(kuò)散彌散圓足夠小。
色差
色差是由于電子槍產(chǎn)生的電子經(jīng)過加速后形成的高能電子束能
量存在一定的能量擴(kuò)展范圍．能量大的電子焦距較長(zhǎng)．反之．能量
小的電子相應(yīng)焦距較短。也就是說(shuō)透鏡對(duì)能量大的電子的偏轉(zhuǎn)量小
的電子相應(yīng)焦距較短。也就是說(shuō)透鏡對(duì)能量大的電子的偏轉(zhuǎn)作用小
于能量較小的電子。因此，一束高能電子經(jīng)過透鏡后不會(huì)聚焦成為
一個(gè)點(diǎn)
色差導(dǎo)致的彌散斑直徑與入射電子能量成反比，即加速電壓越
低，入射電子能量就越�。鄳�(yīng)地色差就越大。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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