標題：光學技術引入表面形貌測量,非接觸測量顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-12-7 1:41:06
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正文:
光學式表面測量技術
光學技術被引入表面形貌測量，實現(xiàn)了非接觸測量。光學表面形貌
測量法可分為光波干涉法、光散射計量法和聚焦探測法。
光波干涉法利用標準參考面和被測表面反射的光束產生干涉，
由顯微鏡將被測面的微觀輪廓起伏轉換為放大了的平面于涉條紋，
然后通過測量干涉條紋的相對變形來間接完成表面輪廓的測量。干
涉法主要有相移干涉法、差分干涉法和白光干涉法3種。利用干涉
接收的表面測量儀器具有測量信息直觀和測量精度高等優(yōu)點。近年
來相移技術在干涉形貌測量中的成功應用，更使干涉技術測量表面
形貌的精度和速度有了大幅度提高。但是，由于受到波長周期性的
限制，干涉條紋的強弱會隨著光程差之間的增加而周期性地變化．
它在測量臺階高度超過所用光源波長的四分之一或較粗糙的表面時
將顯得無能為力。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科