標題：散射測量原理是用光反射特性和表面粗糙度之間相互
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作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-12-7 16:20:28
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正文:
散射法的測量原理是利用光反射特性和表面粗糙度之問的相互
關(guān)系。用實驗方法測量工件表面的反射或漫射率作為另一種參量的
函數(shù)，這些參量有入射角、反射角、檢測器的接收角、每個定角的
反射率等。光散射理論主要有兩種，即標量散射理論和矢量散射理
論，對應(yīng)發(fā)展起來了兩種典型的光散射計量技術(shù)：全積分散射技術(shù)
(TotaIIntegrated Scattering，TIS)以及角分辨散射技術(shù)(Angle
Resolved Scattering，ARS)。這兩種方法共同的優(yōu)點就是測量速
度快、光路簡單、可用于大口徑光學(xué)表面的粗糙度的測量。光散射
法目前所采用的數(shù)學(xué)模型均建立在假設(shè)理論(如相對于入射光的波
長，樣品表面的幅值高度要盡可能小，表面的空間相干長度要盡可
能大)基礎(chǔ)之上，而且在數(shù)學(xué)計算中，為了得到算術(shù)解，不得不進
行了一些近似，這樣就不可避免地給測量結(jié)果引入了誤差。此外。
散射計量技術(shù)只能給出被檢表面的統(tǒng)計信息，而不能得到被檢面的
面形圖，因此使得光散射法的應(yīng)用范圍比較窄。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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