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正文:
墨打印設(shè)備的研究線(xiàn)條
粗糙度-液滴干燥技術(shù)
線(xiàn)條粗糙度
正如之前討論的.粗糙度對(duì)于印刷電子設(shè)備.特別是印刷晶體管來(lái)
說(shuō)是一個(gè)很大的問(wèn)題。例如在底柵型結(jié)構(gòu)中,柵極會(huì)引起柵介質(zhì)產(chǎn)生針
孔.使晶體管喪失功能。為了避免這個(gè)問(wèn)題.研究人員通常使用更厚的
柵介質(zhì)。正如前面所討論的,雖然這能避免晶體管失效.但是由于降解
的柵會(huì)耦合迸通道中,這會(huì)引起設(shè)備操作特性的降低。
一項(xiàng)有關(guān)噴墨打印設(shè)備的研究顯示,由于液滴在線(xiàn)條構(gòu)造時(shí)各自干
燥,噴墨打印的線(xiàn)條中會(huì)存在大量的粗糙。而設(shè)備為了可以工作,也為
了后續(xù)印刷的膜厚度的需要,通常要求很高的電壓。
解決這個(gè)問(wèn)題最簡(jiǎn)單的方法是在液滴干燥前使其流動(dòng);然而這個(gè)方
法的缺點(diǎn)是,會(huì)降低分辨率.這是由于液滴的流動(dòng)能提高線(xiàn)條表面的平
滑度,但也會(huì)引起線(xiàn)條邊緣的延展。通過(guò)使用預(yù)先表面能處理的基底,
這些問(wèn)題能得到解決;然而.這會(huì)額外添加一個(gè)步驟,而且只對(duì)初始打
印層有作用。因此,既要獲得分辨率高,又要線(xiàn)條表面平滑的工作窗口
.是一件復(fù)雜的工
作,而且需要大量的工程以及研究。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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