標(biāo)題：制造小尺寸元件微結(jié)構(gòu)技術(shù)樣品實(shí)驗(yàn)顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2017-6-17 0:04:34
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正文:
制造小尺寸元件微結(jié)構(gòu)技術(shù)樣品實(shí)驗(yàn)顯微鏡
微結(jié)構(gòu)技術(shù)和微結(jié)構(gòu)的基本工藝過(guò)程，這些微結(jié)構(gòu)是構(gòu)建在一
個(gè)基體上尺寸非常小的獨(dú)立的機(jī)械結(jié)構(gòu)、液壓結(jié)構(gòu)、光學(xué)結(jié)構(gòu)或部
件。事實(shí)上，微結(jié)構(gòu)技術(shù)不僅對(duì)微系統(tǒng)是必需的，如果人們了解微
電子學(xué)的歷史，就會(huì)知道由于技術(shù)上和經(jīng)濟(jì)上的突破發(fā)明了晶體管
，而晶體管的發(fā)明對(duì)于技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展是一個(gè)非常重要的進(jìn)程，
最終導(dǎo)致了微處理器的產(chǎn)生。微處理器上集成了許多獨(dú)立元件，采
用經(jīng)濟(jì)、高密度封裝技術(shù)封裝在一個(gè)基體上，只有把這些獨(dú)立元件
集成在一起，各獨(dú)立元件和子系統(tǒng)之間采用復(fù)雜的連接技術(shù)才能形
成一個(gè)完整的系統(tǒng)，微處理器能夠完成各種智能信號(hào)處理任務(wù)。上
面是對(duì)微系統(tǒng)定義的說(shuō)明，下面給出(微)系統(tǒng)的概念：微系統(tǒng)是一
個(gè)由許多獨(dú)立元件組成的裝置。
微系統(tǒng)技術(shù)同樣要求經(jīng)濟(jì)地制造小尺寸元件，并將元件智能地
集成到系統(tǒng)中去。在過(guò)去，微系統(tǒng)技術(shù)強(qiáng)調(diào)的是微結(jié)構(gòu)技術(shù)和微元
件的研制；市場(chǎng)方面對(duì)微系統(tǒng)的研究和研制強(qiáng)調(diào)的是系統(tǒng)的互換性
。微元件制造的工藝標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)制定，遺憾的是，還沒(méi)有系統(tǒng)研制方
面的“準(zhǔn)”標(biāo)準(zhǔn)。不過(guò)，微系統(tǒng)有比較大的應(yīng)用潛力，人們期望將
微系統(tǒng)應(yīng)用到那些利用常規(guī)方法無(wú)法完成的領(lǐng)域。一般來(lái)講，在微
電子電路技術(shù)基礎(chǔ)上再加上集成傳感器和微執(zhí)行元件技術(shù)，微系統(tǒng)
的性能會(huì)大大加強(qiáng)，這樣可以大大擴(kuò)大微系統(tǒng)技術(shù)的性能范圍，從
而使微系統(tǒng)技術(shù)有大的應(yīng)用潛力。
執(zhí)行元件和傳感器同樣很重要。他們都可以使用微結(jié)構(gòu)技術(shù)來(lái)
生產(chǎn)，因?yàn)樗鼈冎饕捎梦㈦娮訉W(xué)的方法來(lái)生產(chǎn)，而且尺寸、功能
和生產(chǎn)成本也與微電子元件一致。如同大量元件的智能連接擴(kuò)展了
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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