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正文:
離焦不適用于非球面-半徑、離焦和面形
半徑、不規(guī)則、離焦和面形
這幾個術(shù)語常用于光學(xué)制造領(lǐng)域。但它們的使用方式因人而異
。這些定義可作為適當(dāng)?shù)奶嶙h,以及討論的起點.
半徑:表面或波前最佳擬合球面的半徑。
不規(guī)則:最佳擬合球面(或最佳擬合圓柱形表面)與表面或波面
之間的殘余誤差范圍.可以用峰谷值(PV)或均方根值(RMS)表示。
指定的球面和最佳擬合球面之間的偏差。柱面離焦是沿其軸向
測量的。離焦不適用于非球面。對于非圓形的區(qū)域,其孔徑大小
必須嚴(yán)格定義。
離焦
或 (也稱為像散):相互正交兩部分的最大離焦差。
:與特定的理想幾何形狀相比,它就是整個物體的物理形狀。
如果沒有給半徑定義公差范圍,那么面形包括離焦和不規(guī)則;如果
對半徑單獨定義公差.則面形與不規(guī)則是等價的,但是最佳擬合球
面也必須在半徑允許的公差范圍內(nèi)。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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