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標(biāo)題：輪廓儀是測量某點(diǎn)面形高度的儀器分析顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2018-5-21 22:01:46 將本頁加入收藏

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正文:

輪廓儀是測量某點(diǎn)面形高度的儀器分析顯微鏡

    圓錐面和非球面

    以前．非球面的功能是球面的3倍．但是其成本卻是球面的10

～20倍：運(yùn)用新型加工設(shè)備后．其成本變?yōu)榇蠹s是球面的2倍，但

是針對球面的測試方法不能直接應(yīng)用于非球面。針對長橢球、拋物

面和雙曲面，可以在合適的共軛位置放置球面或者平面進(jìn)行零位測

試；橢圓體、多項(xiàng)式表達(dá)的或自由形式的非球面需要特殊的測試方

法。

  設(shè)計(jì)者應(yīng)該考慮矢高表中的2～3個(gè)點(diǎn)．加工者需要檢

  查矢高表中所有的標(biāo)記與單位尺度是否相符。

  對于非球面來說，斜度比矢高更重要。

    基于獨(dú)立驗(yàn)證球面面形的3，。卜，蟹·。!或者平面鏡，系統(tǒng)

可設(shè)計(jì)為非球面面形的補(bǔ)償，這利用普通的干涉儀即可。

    計(jì)算機(jī)生成的全息圖通過衍射可以生成測試波前。因?yàn)樗�可�?/div>

通過光刻法生成，并且包含有對準(zhǔn)的基準(zhǔn)特征，因此，它在實(shí)際應(yīng)

用中比零位透鏡測量方法更加安全。

    利用■‘。  0_．：I．!．㈡J{j。_i，可以測量非球面的局

部斜率，而這種方法不是用零位透鏡測量法。

    輪廓儀是測量某點(diǎn)面形高度的儀器．并將其沿一條線轉(zhuǎn)換成輪

廓。接觸式(探針)和非接觸式(光學(xué)式或電容式)輪廓儀可對一個(gè)表

面進(jìn)行一條或多條線的掃描。

    拼接干涉儀是對多個(gè)子孔徑干涉測量獲得的圖像進(jìn)行拼接，使

得每個(gè)子孔徑的干涉條紋都易于分辨，從而在不損失分辨率的情況

下，增加非球面偏離量的測量范圍，此時(shí)可以與一些數(shù)控機(jī)床相結(jié)

合以實(shí)現(xiàn)測量。結(jié)合亞奈奎斯特采樣與內(nèi)置處理軟件．人們近期開

發(fā)出了

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