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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2011-11-30 23:54:37
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正文:
白光干涉顯微鏡的檢測應(yīng)用
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉顯微鏡的功能的掃描式白光涉顯微鏡,結(jié)合顯微物鏡與干涉顯微鏡,不需要複雜光路調(diào)整程序,兼顧體積小,
奈米解析度、易學(xué)用等優(yōu)點(diǎn),可提供垂直掃描高度達(dá)400μma之微三維量測,適合各種材料與微元件表面特徵尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)堿包含 :
● 晶圓(Wafer)
● 光碟/硬碟 (DVD Disk/Hard Disk)
● 微機(jī)電元件(MEMS Components)
● 高密度線路印刷電路板(HDI PCB)
● IC封裝 (IC Package)
● 以及其它材料分析與元件微表面研究。
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